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PSM系列

PSM系列

PSM系列常温手动测头台是一款能够进行大量无损检测的高质量测头台, 2英寸的标准电气实验, 4英寸, 6英寸和8英寸晶圆, 并且外部连接不同的测试设备,可以完成对设备电气特性的测量, 参数测量, 直流测量. 科学的桌面设计是学术和实验研究的选择.

PSM系列概述

  室温手动探头台的主要目的是为半导体芯片的电气参数测试提供一个测试平台, 外部不同的测量仪器, 用该测量仪器可以完成与集成电路的电压测量, 当前的, 测试电阻和容压特性曲线等参数, 用于芯片的无损检测, 室温下的晶圆片和器件.


  PSM系列常温手动测头台是一款能够进行大量无损检测的高质量测头台, 2英寸的标准电气实验, 4英寸, 6英寸和8英寸晶圆, 并且外部连接不同的测试设备,可以完成对设备电气特性的测量, 参数测量, 直流测量. 科学的桌面设计是学术和实验研究的选择.


特点:
-稳定的双位移调节系统,可调节样品架和探针臂的位移.
-样品架可容纳8英寸晶圆样品,并通过使用多孔分区控制气体吸附来固定.
-样品架下的滑动台可在X-Y轴上移动±100mm, 使样品检测和换样更加方便. 滑片采用磁吸附固定.
- 6个探头臂可安装.
-探针臂由磁铁连接, 可以随意移动,可以在三维空间中微调, 操作方便,固定精确, 并且四个探针臂的探针可以固定在样品的任何位置.
—探头臂采用三同轴电缆和三同轴连接器, 漏电电流小, 在100足总杯.
- CCD放大180倍,工作距离100mm.

PSM系列技术参数


PSM系列基本配置

半导体
IC
晶片

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